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静电电动机应用及研究发展方向
目前静电电动机已经在一些基本上不需要功率输出的场合得到了应用，如光、磁领域。日本丰田中央研究所研究的利用表面微机械加工的静电电动机被用于驱动微机械光学斩波器，通过在电动机电极间施加100V 电压产生0. 4μN 的对应拉力，从而使栅格偏移2. 5μm 。随着微机电系统(MEMS) 的不断发展以及微观领域的基础理论的不断深入研究,作为微型机械的动力，静电电动机将会发挥其优势，在各种纤细复…- 135
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